载置台

摘要

本发明提供一种载置台，即使因使用高电压、高电流的电特性检查而使顶板(载置体)变色，也能够只需更换载置台的载置体，而不需要更换其它构成部件，能够削减更换费用的载置台。本发明的载置台(20)，为了对鼓面状晶片(W)的电特性检查、将鼓面状晶片(W)载置在其环状突起的下侧，其具有：具有鼓面状晶片(W)的载置面的载置体(21A)；和绝缘体(22)，其上固定有载置体(21A)，载置体(21)具有：以与鼓面状晶片(W)的环状突起嵌合且与鼓面状晶片(W)的下面接触的方式形成的载置部(21A)；和形成在载置部(21A)的外侧并与环状突起接触的环状平面部(21B)，载置部(21A)由环状平面部(21B)侧安装的螺钉部件(23)可装卸连结固定于绝缘体(22)。

主权项

一种载置台，为了对被检查体的电特性进行检查而载置所述被检查体，所述被检查体具有被遍及下表面的外周缘部全周而形成的环状突起包围的凹陷部，所述载置台的特征在于，具有：具有所述被检查体的载置面的载置体；和绝缘体，在其上可装卸地固定所述载置体，所述载置体具有：按照与所述被检查体的凹陷部嵌合，且所述载置面与所述被检查体的下表面接触的方式形成的载置部；和形成在所述载置部的外侧，且接受所述环状突起的环状平面部，利用紧固部件使所述载置体在所述环状平面部处固定于所述绝缘体，所述载置体在所述载置面上形成有导体覆膜，在所述导体覆膜被污染时更换所述载置体，所述被检查体为TAIKO晶片。