制备电子级超纯水的设备

摘要

本实用新型公开了一种制备电子级超纯水的设备，该系统包括连接自来水的原水箱，原水箱后通过管道依次连接预处理过滤系统、反渗透系统、CDI系统以及和上述系统电连并控制上述系统的PLC控制系统；本实用新型电子级超纯水系统本系统采用PLC自动控制水处理及系统清洗，提高了系统的稳定性和控制的精确性，保证了产水水质；在产水水质达到电子级超纯水标准的条件下，操作简单、成本更低、运行稳定，造价仅为国外系统的40%。

主权项

制备电子级超纯水的设备，其特征在于，所述设备包括连接自来水的原水箱，原水箱后通过管道依次连接预处理过滤系统、反渗透系统、CDI系统以及和上述系统电连并控制上述系统的PLC控制系统；所述预处理过滤系统包括通过管道依次连接的多介质过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器，所述活性炭过滤器与保安过滤器之间设置有阻垢剂药箱，该阻垢剂药箱出口通过管道与保安过滤器进水口连接，且该阻垢剂药箱管道上设有计量泵；所述反渗透系统包括通过管道依次连接的一级高压泵、一级反渗透膜组、一级反渗透水箱、二级高压泵、二级反渗透膜组和二级反渗透水箱，所述一级反渗透水箱和二级高压泵之间设置有NaOH添加装置，该NaOH添加装置出口通过管道与二级高压泵进水口连接，所述NaOH添加装置与二级高压泵之间的管道上设置有计量泵、PH检测器；所述CDI系统包括通过管道依次连接的CDI膜堆和CDI水箱；CDI水箱通过管道连接终端微滤器。