| 发明名称 | 利用CVD 涂覆基板的器件和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及利用CVD涂覆基板的器件，特别地是利用金刚石或硅涂覆的器件，其中由多个伸长的热导体(2)组成的热导体阵列设置在壳体(9)中，所述热导体在第一电极(1)与第二电极(6)之间延伸，其中所述热导体通过附接到其一端的重物(4)被单独地保持拉紧。为了增加热导体(2)的寿命，本发明提出以由重物(4)产生的重力(G)的矢量与热导体(2)的纵向延伸方向形成不大于45°的角度(α)的方式，重物(4)或热导体(2)在第二电极(6)处被引导，形成电滑动接触。 | ||
| 申请公布号 | CN102292466A | 申请公布日期 | 2011.12.21 |
| 申请号 | CN200980155316.5 | 申请日期 | 2009.11.13 |
| 申请人 | 迪亚康有限责任公司;塞梅康股份公司 | 发明人 | M.鲁弗;S.罗西瓦尔;C.巴雷斯;W.雷克特;O.莱莫;M.珀尔 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 彭久云 |
| 主权项 | 一种使用CVD涂覆基板的器件，特别是利用金刚石或硅涂覆的器件，其中，由在第一电极(1)与第二电极(6)之间延伸的多个纵向延伸的热导体(2)组成的热导体阵列设置在壳体(9)中，其中，所述热导体(2)通过安装在其一端的重物(4)被单独地保持拉紧，其特征在于，所述重物(4)或所述热导体(2)在所述第二电极(6)处被引导，形成电滑动接触，其方式为：由所述重物(4)产生的重力(G)的矢量与所述热导体(2)的所述纵向延伸方向形成不大于45°的角度(α)。 | ||
| 地址 | 德国菲尔特 | ||