传感器及利用该传感器测量物理量的方法

摘要

本发明提供一种传感器，该传感器包括固定在衬底上的第一X轴GMR元件至第四X轴GMR元件、以及支撑在该衬底上的可动线圈。当电流流经该可动线圈时，在该可动线圈周围产生磁场。产生的该磁场施加到该第一至第四X轴GMR元件。该可动线圈根据传感器中产生的加速度而移动。该可动线圈的移动导致施加到该第一至第四X轴GMR元件的磁场的改变。当没有电流流到该可动线圈时，该传感器基于该第一至第四X轴GMR元件的电阻测量外磁场。当恒定电流流经该可动线圈时，该传感器基于该第一至第四X轴GMR元件的电阻测量加速度等。

主权项

一种传感器，包括：具有主表面的衬底；第一磁检测元件，其固定在所述衬底的所述主表面上，从而表现出一特性值，所述特性值的大小对应于磁场沿所述衬底的所述主表面上的第一方向的分量；第二磁检测元件，其固定在所述衬底的所述主表面上，从而表现出一特性值，所述特性值的大小对应于所述磁场沿所述衬底的所述主表面上的第二方向的分量，所述第二方向以预定角度与所述第一方向相交；以及可动线圈，其通过支撑构件被支撑在所述衬底上，从而在平行于所述衬底的所述主表面的平面中可移动，并且向所述第一和第二磁检测元件施加通过将电流施加到所述可动线圈而产生的磁场；并且所述传感器被配置为输出与所述第一磁检测元件表现出的特性值对应的值以及与所述第二磁检测元件表现出的特性值对应的值。