角速度传感器及电子机器

摘要

本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏，并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中，在三个臂部(12A～12C)中，两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励，臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且，将各臂部沿与压电功能层(15A～15C)的形成面垂直的方向进行激励，并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此，在臂部间所产生的转距相互抵消，并可降低向基部传递的振动。而且，通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励，可以维持稳定的激励状态，并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。

主权项

一种角速度传感器，包括：基部；三个臂部，从所述基部一体地沿大致同一方向延伸；压电膜，形成在所述各臂部的一个表面上；驱动电极，用于激励，形成在所述三个臂部中的至少第一臂部和第二臂部的所述压电膜上，所述第一和第二臂部位于外侧；以及检测电极，用于角速度检测，形成在所述三个臂部中的至少位于中央的臂部的所述压电膜上，其中，所述三个臂部中位于外侧的两个臂部以同相进行激励，位于中央的臂部以相对于位于所述外侧的两个臂部的反相进行激励，同时，所述驱动电极对形成所述驱动电极的臂部沿和所述压电膜的形成面垂直的第一方向进行激励，所述检测电极对沿与所述三个臂部的所述压电膜的形成面平行的第二方向的振动进行检测，所述检测电极在所述三个臂部中、位于中央的臂部的所述压电膜上相对于该位于中央的臂部的轴心，成一对地形成在对称的位置上，所述检测电极的第一检测电极形成在所述位于中央的臂部的第一侧，并且经由所述基部从位于中央的臂部跨越位于所述第一侧的外侧的臂部并连续地形成，同时，所述检测电极的第二检测电极形成在关于所述位于中央的臂部的轴心对称相对的第二侧，并且经由所述基部从位于中央的臂部跨越位于所述第二侧的外侧的臂部，连续地形成。