多晶硅尾气干法分离系统吸附柱解析方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅尾气干法分离系统吸附柱解析方法，包括如下步骤：a）先采用氮气对吸附柱反吹解析，b）再用氢气对吸附柱进行置换，c）反吹后带有大量氯硅烷的氮气或氢气通过循环水、制冷剂冷却，分离其中的氯硅烷之后，氮气或氢气送到残液处理车间淋洗放空；本方法克服反吹氢气未被有效利用、多晶硅生产中氢气严重不足的情况及淋洗放空所带来的安全隐患，用成本相对较低的氮气代替氢气先对吸附柱反吹解析之后，再用氢气对吸附柱进行置换，这样处理可以有效节约氢气，降低生产成本及淋洗放空所带来的安全隐患。

主权项

一种多晶硅尾气干法分离系统吸附柱解析方法，其特征在于：包括如下步骤：a）先采用氮气对吸附柱反吹解析，b）再用氢气对吸附柱进行置换，c）反吹后带有大量氯硅烷的氮气或氢气通过循环水、制冷剂冷却，分离其中的氯硅烷之后，氮气或氢气送到残液处理车间淋洗放空。