| 发明名称 | 利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法及固体表面平坦化设备 | ||
| 摘要 | 通过气体团簇离子束照射降低存在于固体表面中的划痕或者类似的表面粗糙。利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法包括用气体团簇离子束照射固体表面的照射过程。该照射过程包括引起来自多个方向的团簇与固体表面上被气体团簇离子束照射的至少这些区域(点)碰撞的步骤。通过其中团簇的分散方向关于束中心发散的气体团簇离子束来进行对这些点的来自多个方向的团簇碰撞。 | ||
| 申请公布号 | CN101563760B | 申请公布日期 | 2011.12.21 |
| 申请号 | CN200780040778.3 | 申请日期 | 2007.10.30 |
| 申请人 | 日本航空电子工业株式会社 | 发明人 | 佐藤明伸;铃木晃子;伊曼纽尔·布雷尔;松尾二郎;瀬木利夫 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/302(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 彭久云 |
| 主权项 | 一种利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法，包括用所述气体团簇离子束照射所述固体表面的照射步骤，其中所述照射步骤包括使来自多个方向的团簇与所述固体表面上被所述气体团簇离子束照射的至少一点同时碰撞。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||