发明名称 一种弯曲形压电单晶片的制备方法
摘要 本发明公开了一种弯曲形压电单晶片的制备方法,该方法是首先选取基底材料,按所需尺寸切割;然后制作弯曲模具,采用冲压加工工艺,制得具有所需弯曲度和弯曲形状的基底材料;采用粘结剂将已极化的压电材料粘接在弯曲的基底材料的凸面上;将样品放入四角带定位孔的两平行金属板之间,施加压力,使弯曲基底材料的下表面与金属板完全接触,再用螺钉固定金属板;放入烘箱中固化;最后自然冷却至室温后取出即可。本发明的制备方法可以在低温下操作,最高制备温度只有100℃,且不需要对压电材料进行二次极化,还可以根据需要改变基底材料的弯曲度和弯曲形状。
申请公布号 CN102290527A 申请公布日期 2011.12.21
申请号 CN201110283540.1 申请日期 2011.09.22
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 罗豪甦;许春东;王东;任博;赵祥永;徐海清;林迪;王升;狄文宁;李晓兵;梁柱
分类号 H01L41/22(2006.01)I 主分类号 H01L41/22(2006.01)I
代理机构 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人 何葆芳
主权项 一种弯曲形压电单晶片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:a)选取基底材料,按所需尺寸切割;b)制作弯曲模具,采用冲压加工工艺,制得具有所需弯曲度和弯曲形状的基底材料;c)采用粘结剂将弯曲的基底材料粘接在已极化的压电材料的凸面上;d)将样品放入四角带定位孔的两平行金属板之间,施加压力,使弯曲基底材料的下表面与金属板完全接触,再用螺钉固定金属板;e)放入烘箱中固化;f)自然冷却至室温后取出即可。
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号