发明名称 |
植入式微针尖电极及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种植入式微针尖电极及其制作方法,涉及微电子机械系统和植入式微电极技术领域,所述方法包括以下步骤:A:在镀有铝膜(1)的硅片(2)上制作聚对二甲苯-金属合金-聚对二甲苯结构的金属电极层,包括:刺激点(3)、互连线(4)和引线接点(5);B:通过光刻、电镀制作金属镍或镍合金机械支撑层,包括金属镍或镍合金微针尖(6)和引线接点底座支撑体(7);C:湿法腐蚀铝膜牺牲层,正面键合干膜(8),背面氧等离子体刻蚀,直至暴露出刺激点和引线接点;D:湿法腐蚀所述干膜,并用去离子水清洗,得到微针尖电极。本发明具有机械性能高、生物兼容性好、植入方便、对组织损伤轻微、尺寸精确可控、灵敏度高、可靠性高的特点。 |
申请公布号 |
CN102289148A |
申请公布日期 |
2011.12.21 |
申请号 |
CN201110247840.4 |
申请日期 |
2011.08.24 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
李志宏;余怀强;王朔;王玮 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;A61B5/04(2006.01)I;A61N1/05(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
王莹 |
主权项 |
一种植入式微针尖电极的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:A:在镀有铝膜(1)的硅片(2)上通过聚对二甲苯生长、光刻、氧等离子体刻蚀、溅射和湿法腐蚀制作聚对二甲苯‑金属合金‑聚对二甲苯结构的金属电极层,包括:刺激点(3)、互连线(4)和引线接点(5);B:通过光刻、电镀制作金属镍或镍合金机械支撑层,包括金属镍或镍合金微针尖(6)和引线接点底座支撑体(7);C:湿法腐蚀铝膜牺牲层,正面键合干膜(8),背面氧等离子体刻蚀,直至暴露出刺激点和引线接点;D:湿法腐蚀所述干膜,并用去离子水清洗,得到微针尖电极。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号 |