处理盘状制品的设备及操作其的方法

摘要

披露了一种支撑并转动盘状制品的设备，包括：包括支撑所述盘状制品的支撑件的第一转子，其中所述第一转子位于处理室内，连接到转动第二转子驱动结构的第二转子，其中所述第二转子通过磁力耦合到所述第一转子而不接触所述第一转子，以及所述第二转子位于所述处理室外，所述第一转子和第二转子之间有壁，以及至少一个磁偶，其中所述偶包括第一偶件和第二偶件，其中所述第一偶件包括安装于所述第一转子的耦合磁体(例如永磁体)，所述第二偶件包括高温超导材料(HTS)，其中所述磁偶通过排列和/或形成使得所述第一转子和所述第二转子之间无自由度从而导致所述第一转子与所述第二转子一起移动。此外披露了操作这种设备的方法。

主权项

一种支撑并转动盘状制品的设备，包括：包括支撑所述盘状制品的支撑件的第一转子，其中所述第一转子位于处理室内，连接到转动第二转子的驱动结构的第二转子，其中所述第二转子通过磁力耦合到所述第一转子而不接触所述第一转子，所述第二转子位于所述处理室外，所述第一转子和第二转子之间有壁，以及至少一个磁偶，其中所述磁偶包括第一偶件和第二偶件，其中所述第一偶件包括安装于所述第一转子的耦合磁体，所述第二偶件包括高温超导材料(HTS)，其中所述磁偶通过排列和/或成形使得所述第一转子和所述第二转子之间无自由度从而导致所述第一转子与所述第二转子一起移动。