显示器件及其制造方法

摘要

本发明揭示一种显示器件及其制造方法。一般希望在显示器件中将低电阻材料用于配线，但是到现在为止没有存在形成配线的有效方法。本发明的结构之一包括以下工序：形成第一导电膜；在第一导电膜上选择性地形成抗蚀剂；在第一导电膜及抗蚀剂上形成第二导电膜；在去除抗蚀剂的同时去除形成在抗蚀剂上的第二导电膜；形成第三导电膜，使其覆盖形成在第一导电膜上的第二导电膜；选择性地蚀刻第一导电膜及第三导电膜；形成多个布线及电极。由此，由于可以在大型面板中形成用低电阻材料的布线，因此可以解决信号延迟等问题。

主权项

一种显示器件，其特征在于，包括：半导体膜；栅极布线；在所述半导体膜和所述栅极布线之间的栅极绝缘膜；以及与所述半导体膜电连接的源极或漏极布线，所述栅极布线的第一部分包括：第一导电膜和形成在所述第一导电膜之上的第二导电膜，其中所述第一导电膜的整个上表面与所述第二导电膜接触，并且所述栅极布线的第二部分包括：所述第一导电膜；选择性地形成在所述第一导电膜上的第三导电膜；以及形成所述第二导电膜，使其覆盖所述第三导电膜。