串联声表面波压电传感器液相检测装置及其制造方法

摘要

本发明公开了串联声表面波压电传感器液相检测装置及其制造方法。串联声表面波压电传感器液相检测装置，包括双路差分电路，一路由声表面波谐振器一、振荡电路一、串联叉指金电极组成反馈回路，声表面波谐振器一、振荡电路一、串联叉指金电极依次相联，串联叉指金电极再与声表面波谐振器一相联，用于检测待测内毒素溶液；另一路由声表面波谐振器二、振荡电路二组成，声表面波谐振器二与振荡电路二相联，用于环境噪声的补偿；振荡电路一、串联叉指金电极、振荡电路二、声表面波谐振器二都与混频器相联，两电路输出振荡信号经过混频器进行差分，后输入频率检测电路。本发明液相检测装置摆脱了液体工作环境，无需固定敏感层；检测精度高，稳定性好。

主权项

串联声表面波压电传感器液相检测装置，其特征是包括双路差分电路，一路由声表面波谐振器一、振荡电路一、串联叉指金电极组成反馈回路，声表面波谐振器一、振荡电路一、串联叉指金电极依次相联，串联叉指金电极再与声表面波谐振器一相联，用于检测待测内毒素溶液；另一路由声表面波谐振器二、振荡电路二组成，声表面波谐振器二与振荡电路二相联，用于环境噪声的补偿；振荡电路一、串联叉指金电极、振荡电路二、声表面波谐振器二都与混频器相联，前述两电路输出振荡信号经过混频器进行差分，最后输入频率检测电路。