高真空环境下的三维移动机构

摘要

本发明公开了一种高真空环境下的三维移动机构，包括水平导轨、垂直导轨、水平小车、垂直小车、两根水平传动轴和一根垂直传动轴、一根水平丝杆和一根垂直丝杆、锥齿轮组、蜗杆及三台步进计数电机等。该三维移动机构实现了三维大范围立体测量，并由位置计数电机完成记录。三台电机都放在真空舱外侧，通过法兰引入。在每根丝杆和轴前都设计了蜗杆，允许适当的挠度变形和安装不同轴度。水平小车和垂直小车都采用高、低轮自动夹紧结构，使小车在导轨上移动更平稳。通过改变安装在垂直小车上的齿轮组的安装位置或齿轮组形式，可实现传感器挂架沿三种不同的轴线转动，进一步体现了三维大范围测量的能力。

主权项

高真空环境下的三维移动机构，包括水平导轨(10)、垂直导轨(12)、水平小车(11)、垂直小车(13)、水平传动轴I(8)、水平传动轴II(9)、垂直传动轴(22)、水平丝杆(7)、垂直丝杆(21)、水平推进螺母(16)、垂直推进螺母(26)、可换齿轮组(23)、零件传感器挂架(27)、锥齿轮组(1、2、3、17、18)、蜗杆(4、5、6、19、20)及三台步进计数电机，水平小车(11)上设有水平丝杆(7)和水平推进螺母(16)，电机A带动锥齿轮组A(1)，锥齿轮组A(1)通过蜗杆A(4)带动水平丝杆(7)，水平丝杆(7)再带动水平推进螺母(16)从而实现水平方向的运动，水平小车(11)上固定有锥齿轮组E(18)，电机B带动锥齿轮组B(2)，锥齿轮组B(2)通过蜗杆B(5)带动水平传动轴I(8)，水平传动轴I(8)再带动锥齿轮组E(18)，锥齿轮组E(18)带动涡杆E(20)，涡杆E(20)通过垂直丝杆(21)带动垂直推进螺母(26)从而实现垂直方向的运动；锥齿轮组D(17)固定在水平小车(11)上，电机C带动锥齿轮组C(3)进而带动涡杆C(6)，涡杆C(6)再带动水平传动轴II(9)；当垂直方向有运动时，水平传动轴II(9)的转动通过锥齿轮组D(17)传递给垂直传动轴(22)，垂直传动轴(22)与安装在垂直小车(13)上的可换齿轮组(23)相互作用，实现零件传感器挂架(27)绕指定的轴线转动，所述指定的轴线为垂直传动轴(22)的轴线、与水平传动轴I(8)或水平传动轴II(9)平行且与垂直传动轴(22)垂直的轴线、与水平传动轴I(8)或水平传动轴II(9)垂直且与垂直传动轴(22)垂直的轴线之一。