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发明名称
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR101095784(B1)
申请公布日期
2011.12.21
申请号
KR20090060572
申请日期
2009.07.03
申请人
发明人
分类号
H01L27/108;H01L21/28
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
主权项
地址
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