悬浮臂用基板、其制备方法、磁头悬浮臂和硬盘驱动器

摘要

悬浮臂用基板(10)具备金属基板(1)、在金属基板(1)上形成的绝缘层(2)、在绝缘层(2)上形成的布线层(3)、和覆盖布线层(3)的覆盖层(4)。绝缘层(2)的材料和覆盖层(4)的材料由不同材料构成，两者的吸湿膨胀系数在3×10-6/％RH～30×10-6/％RH的范围内，两者的吸湿膨胀系数之差在5×10-6/％RH以下的范围内。

主权项

悬浮臂用基板的制备方法，其特征在于：该方法具备以下步骤：准备按顺序配置了金属基板、绝缘层和金属镀层的层合体的层合体准备步骤；在上述金属基板的表面和上述金属镀层的表面形成图案状的抗蚀层，进行蚀刻，在上述金属基板上形成夹具孔，在上述金属镀层上形成布线图案层的第一金属蚀刻步骤。