图像传感器装置的制造方法

摘要

本发明是揭示一种图像传感器装置的制造方法，该方法包含在一基底上形成一光敏层。然后，经由一第一光掩模来使上述光敏层曝光，以形成一已曝光区与一未曝光区。接着，经由一第二光掩模来使上述未曝光区部分地曝光，以形成一裁减部，其中上述第二光掩模具有一第一部分与一第二部分，上述第二部分所具有的透光率是大于上述第一部分的透光率。再来，移除上述裁减部以形成多个光敏结构。接下来，重流(reflow)上述光敏结构，以形成具有不同高度的一第一透镜与一第二透镜。本发明的方法可以简单地控制每个个别的微透镜，以具有一较佳的高度，来改善图像传感器装置的感光度。

主权项

一种图像传感器装置的制造方法，包含：在一基底上形成一光敏层；经由一第一光掩模来使该光敏层曝光，以形成一已曝光区与一未曝光区；经由一第二光掩模来使该未曝光区部分地曝光，以形成一裁减部，其中该第二光掩模具有一第一部分与一第二部分，该第二部分所具有的透光率是大于该第一部分的透光率；移除该裁减部以形成多个光敏结构；以及重流所述多个光敏结构，以形成具有不同高度的一第一透镜与一第二透镜。