自动镀膜装置

摘要

一种自动镀膜装置，其包括：一机体、一支撑架、一基板、一旋转装置及一翻面装置；所述旋转装置包括一第一驱动装置及一与其相连接的第一传动轴；所述翻面装置包括一第二驱动装置及一与其相连接的第二传动轴；所述第一驱动装置与所述第二驱动装置相邻的固定于机体的顶端，且所述第一传动轴与第二传动轴相互平行；所述支撑架的一端可转动的连接在所述机体上，所述基板可转动的连接在所述支撑架上；所述第一驱动装置驱动第一传动轴带动支撑架在水平方向上旋转，所述第二驱动装置驱动第二传动轴带动基板在竖直方向上转动。本发明自动镀膜装置可使位于基板上的待镀膜基片一表面镀膜完成后，无需降温、破真空，自动翻面后对另一面进行镀膜。

主权项

一种自动镀膜装置，其特征在于，该自动镀膜装置包括：一机体、一支撑架、一基板、一旋转装置及一翻面装置；所述旋转装置包括一第一驱动装置、一第一传动轴、一旋转驱动齿轮、一轴承、一旋转从动齿轮及一固定杆；所述第一传动轴的一端与所述第一驱动装置相连接，另一端与所述旋转驱动齿轮相连接；该旋转驱动齿轮与固定在支撑架上的旋转从动齿轮相配合，所述旋转从动齿轮通过多个连接杆连接于轴承的外圈，所述固定杆一端固定于轴承的内圈，另一端与机体相连接；所述翻面装置包括一第二驱动装置、一第二传动轴、一翻面驱动齿轮及多个翻面从动齿轮；所述第二传动轴的一端与所述第二驱动装置相连接，另一端与所述翻面驱动齿轮相连接；该翻面驱动齿轮与固定在基板一端的多个翻面从动齿轮相配合，所述基板的另一端活动的连接于支撑架上；所述第一驱动装置与所述第二驱动装置相邻的固定于机体的顶端，且所述第一传动轴与第二传动轴相互平行；所述第一驱动装置驱动第一传动轴带动支撑架在水平方向上旋转，所述第二驱动装置驱动第二传动轴带动基板在竖直方向上转动。