Insulating board for vertical heat processing device and manufacturing method for the insulating board,申请号KR20090129046-传众专利搜索

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发明名称	Insulating board for vertical heat processing device and manufacturing method for the insulating board
摘要
申请公布号	KR101094643(B1)	申请公布日期	2011.12.20
申请号	KR20090129046	申请日期	2009.12.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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