发明名称 APPARATUS FOR PLASMA ION DOPING
摘要
申请公布号 KR101096492(B1) 申请公布日期 2011.12.20
申请号 KR20090083261 申请日期 2009.09.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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