Plasma Treatment Apparatus and Plasma Treatment Method,申请号KR20050022285-传众专利搜索

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发明名称	Plasma Treatment Apparatus and Plasma Treatment Method
摘要
申请公布号	KR101096950(B1)	申请公布日期	2011.12.20
申请号	KR20050022285	申请日期	2005.03.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;C23C16/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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