Polymer, Resist Composition and Patterning Process,申请号KR20050023158-传众专利搜索

发明名称	Polymer, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号	KR101094535(B1)	申请公布日期	2011.12.19
申请号	KR20050023158	申请日期	2005.03.21
申请人		发明人
分类号	G03F7/033;G03F7/039;C08F220/26;C08F220/28;G03C1/492;H01L21/027	主分类号	G03F7/033
代理机构		代理人
主权项
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