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发明名称 MULTILAYER MIRROR, METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2007853(A) 申请公布日期 2011.12.19
申请号 NL20112007853 申请日期 2011.11.24
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 YAKUNIN, ANDREI;SJMAENOK, LEONID;SALASCHENKO, NIKOLAI;GLUSHKOV, DENNIS;POLKOVNIKOV, VLADIMIR NIKOLAEVICH
分类号 G02B1/10;G03F7/20 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
主权项
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