发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH BURIED GATE
摘要
申请公布号 KR101094372(B1) 申请公布日期 2011.12.15
申请号 KR20090059382 申请日期 2009.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/336 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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