发明名称 SYSTEME UND VERFAHREN ZUM SCANNEN EINER PROBE MIT EINEM LICHTSTRAHL
摘要
申请公布号 AT535834(T) 申请公布日期 2011.12.15
申请号 AT20020734188T 申请日期 2002.05.03
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 SULLIVAN, JAMIE;GIBSON, JOHN;LI, MINGGUANG;VELLA, ERIC;JOHNSON, RALPH
分类号 G01B11/30;G02B21/00;G01N21/956;G02B21/06;G02B26/10;G02F1/33;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
地址