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<p>Die Elektrode eines Phasenwechselspeichers kann aus einer Mischung von Metall und Nicht-Metall gebildet sein, wobei die Elektrode weniger Stickstoffatome als Metallatome aufweist. In einen Ausführungsbeispielen bat wenigstens ein Teil der Elektrode weniger Stickstoff als im Falle eines Metallnitrids. Die Mischung kann Metall und Stickstoff oder Metall und Silizium enthalten, in zwei Beispielen. Ein solches Material kann eine gute Haftung an dem Chalkogenid mit geringer Reaktivität als im Fall von Metallnitriden aufweisen.</p> |
