一种多级干式真空泵转子与轴结构及应用

摘要

本发明公开一种多级干式真空泵转子与轴的结构，包括轴、多叶罗茨转子、异型爪型转子，所述结构为5级转子串联，两个多叶罗茨转子分别热胀装配于轴上第一级和第五级，轴在第二级到第四级转子为异型爪型转子并且每个异型爪型转子角度位置相同；所述结构需要成对使用，安装在干式真空泵中，并且保证相啮合的转子为三叶罗茨与三叶罗茨，异型爪型转子A对异型爪型转子B，其中异型爪型转子A侧开有该级的排气口，而异型爪型转子B侧开有该级的吸气口。本发明的优点是：将三叶罗茨转子与异型爪型转子相结合，减少了真空泵的体积，简化气路设计，并提高抽气效率。能够使以这种转子和轴组合安装方式工作的多级干式真空泵的极限压力小于3Pa。

主权项

一种多级干式真空泵转子与轴的结构，其特征在于：包括轴、多叶罗茨转子、异型爪型转子，所述结构为5级转子串联，两个多叶罗茨转子分别热胀装配于轴上第一级和第五级，轴在第二级到第四级转子为异型爪型转子并且每个异型爪型转子角度位置相同。