蒸发镀膜设备

摘要

本发明公开了一种蒸发镀膜设备，其包括设置于真空腔体内的绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件，其中，蒸发源机构包括电极、膜厚传感器及固定于电极上的蒸发器，蒸镀过程中，膜厚传感器适时地检测沉积于其上的膜厚，系统根据检测到的膜厚及一定的转换公式可得出沉积在工件上的膜厚，以便通过沉积效率或沉积时间来控制需要沉积于工件上的膜厚，使工件上的膜厚精确，进而提高膜层质量；根据实际需要将蒸发丝缠绕于绕丝机构上，通过送丝机构将蒸发丝平稳、均匀地送到蒸发器上，延长了蒸发丝更换的周期，不会因为跟换蒸发丝而破坏真空腔体内的真空环境，提高蒸发镀膜形成的膜层质量；使蒸发镀膜设备具有较高的自动化程度。

主权项

一种蒸发镀膜设备，包括绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构、挡板组件及具有腔门的真空腔体，所述绕丝机构、送丝机构、蒸发源机构及挡板组件均设置于所述真空腔体内，其特征在于：所述绕丝机构包括绕丝转轴及缠绕蒸发丝的绕丝轮，所述绕丝轮通过所述绕丝转轴枢接于所述真空腔体内；所述送丝机构包括送丝驱动机构、安装箱、传动轴及用于夹持并传送蒸发丝的送丝轮组，所述送丝驱动机构安装于所述真空腔体外，所述安装箱安装于所述真空腔体内，所述送丝轮组安装于所述安装箱内，所述传动轴的一端与所述送丝驱动机构连接，所述传动轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述安装箱内的送丝轮组连接，所述送丝轮组位于所述绕丝轮与所述蒸发源机构之间，所述送丝驱动机构通过所述传动轴驱动所述送丝轮组转动，所述送丝轮组带动被夹持的蒸发丝传送出；所述蒸发源机构包括蒸发器、电极、承载件及膜厚传感器，所述电极通过绝缘装置固定于所述真空腔体内，所述蒸发器固定于所述电极上且与所述电极电连接，所述蒸发器位于所述送丝机构的输出端下方，所述承载件用于承载待镀膜工件，所述承载件与所述真空腔体固定连接且位于所述蒸发器正上方，所述承载件与所述蒸发器之间形成蒸镀区，所述膜厚传感器设置于所述蒸镀区内；所述挡板组件包括挡板驱动机构、挡板及旋转轴，所述挡板驱动机构安装于所述真空腔体外，所述挡板固定于所述旋转轴的一端，所述旋转轴的另一端密封地穿过所述真空腔体与所述挡板驱动机构连接，所述挡板设置于所述蒸镀区内且位于所述蒸发器与所述承载件之间，所述挡板驱动机构驱动所述挡板旋转。