| 发明名称 | 一种石墨舟饱和处理工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种石墨舟饱和处理工艺，包括如下步骤：将石墨舟清洗并干燥的步骤；进行干燥的步骤；在管式PECVD内进行饱和处理的步骤；进行工艺调试的步骤。本发明提高了镀膜的合格率，在一定程度上降低了色差等不良品的比例，解决了原来石墨舟饱和的技术难题，大大提高了产线的产能及效益。 | ||
| 申请公布号 | CN102280396A | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN201110270015.6 | 申请日期 | 2011.09.14 |
| 申请人 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 发明人 | 陈跃;陈树同;张宗阳;刘亚新 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人 | 达晓玲;詹世平 |
| 主权项 | 一种石墨舟饱和处理工艺，其特征在于，包括如下步骤：对石墨舟进行清洗的步骤；进行干燥的步骤；在管式PECVD内进行饱和处理的步骤；进行工艺调试的步骤。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区 | ||