发明名称 混合式薄膜晶体管及其制造方法以及显示面板
摘要 本发明公开一种混合式薄膜晶体管及其制造方法以及显示面板。混合式薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管以及第二薄膜晶体管。所述第一薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极、第一漏极以及第一半导体层,第一半导体层位于第一栅极以及第一源极与第一漏极之间,且第一半导体层包括结晶硅层。第二薄膜晶体管包括第二栅极、第二源极、第二漏极以及第二半导体层,第二半导体层位于第一栅极以及第一源极与第一漏极之间,且第二半导体层包括金属氧化物半导体材料。
申请公布号 CN102280491A 申请公布日期 2011.12.14
申请号 CN201110215298.4 申请日期 2011.07.25
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 谢秀春;陈亦伟;邱大维;陈崇道
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 梁挥;王颖
主权项 一种混合式薄膜晶体管,其特征在于,包括:一第一薄膜晶体管与一第二薄膜晶体管;该第一薄膜晶体管,其包括:一第一栅极、一第一源极以及一第一漏极;以及一第一半导体层,该第一半导体层位于该第一栅极以及该第一源极与该第一漏极之间,其中该第一半导体层包括一结晶硅层;以及该第二薄膜晶体管,其包括:一第二栅极、一第二源极以及一第二漏极;以及一第二半导体层,该第二半导体层位于该第一栅极以及该第一源极与该第一漏极之间,其中该第二半导体层包括一金属氧化物半导体材料。
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号