干式真空泵

摘要

在排气室(13)与润滑室(12)之间具有：对区划排气室(13)的工作缸(7)和第一轴(5)之间进行密封的第二密封件(28)、对区划润滑室(12)的侧罩(9)和第一轴(5)之间进行密封的第一密封件(27)。另外，在第二密封件(28)和第一密封件(27)之间设有供给密封气体的气体导入空间(29)。第二密封件(28)及第一密封件(27)分别具有基部和从基部向第一轴(5)侧延伸的一对圆环状的唇(31、32、33、34)。一对唇(31、32或33、34)以相互的间隔随着从基部朝向第一轴(5)侧而逐渐扩大的方式延伸，并且各自前端部能够与第一轴(5)弹性接触。

主权项

一种干式真空泵，其具有：轴，其通过电磁电动机驱动旋转；转子，其安装于该轴且设于排气室内，将真空处理室内的排气对象气体向该排气室内吸引且排出；所述干式真空泵的特征在于，在所述排气室和位于与该排气室相邻的位置的邻室之间具有：排气室侧密封件，其对区划该排气室的排气室区划壁部和所述轴之间进行密封；邻室侧密封件，其对区划该邻室的邻室区划壁部和所述轴之间进行密封，在所述排气室侧密封件和所述邻室侧密封件之间设有供给密封气体的气体导入空间，所述排气室侧密封件及所述邻室侧密封件分别具有：固定在所述排气室区划壁部侧或所述邻室区划壁部侧的圆环状的基部、从该基部向所述轴侧延伸的一对圆环状的唇部，一对所述唇部以相互的间隔随着从所述基部朝向所述轴侧而逐渐扩大的方式延伸，且各自的前端部能够相对于所述轴弹性接触。