用于汽相淀积系统的衬底托架

摘要

本发明涉及用于磁锁闩的部分地可用完即弃的衬底托架，以将衬底固定在行星式旋转平台上，所述行星式旋转平台悬挂在汽相淀积系统的真空腔中的涂料源上方，如化学汽相淀积(CVD)系统或物理汽相淀积(PVD)系统。所述衬底托架包括可以再度使用的底座和用完即弃的盖，所述底座至少部分地用铁磁材料形成并被吸引到所述磁锁闩，所述盖由相对便宜的铁磁性易于形成的材料形成、促使涂层材料的附着并具有在涂覆温度下的低汽相压力。

主权项

一种用于安装在涂膜系统的处理腔中的衬底支撑，包括：至少一个心轴，所述心轴可围绕各自心轴的轴旋转；位于每个心轴的一端上的锁闩，所述锁闩包括安装表面并且所述锁闩是磁锁闩，所述磁锁闩包括第一部分和第二部分，所述第二部分可相对于所述第一部分在第一位置与第二位置之间移动；和可松开的衬底托架，永磁体在所述第一位置将所述安装表面磁化，使得所述可松开的衬底托架安装在所述锁闩的安装表面上，并且所述安装表面在所述第二位置是不被磁化的，使得所述可松开的衬底托架从所述安装表面松开，所述衬底托架包括底座和安装在所述底座的一个端面上的用于支撑衬底的盖；其中所述盖包括暴露所述衬底的开口、包围所述开口以将所述衬底的边缘保持在所述底座的唇边，和覆盖所述底座的端面以保护所述底座不受杂散涂层材料的影响的保护区域；其中所述盖用片状金属制成；和其中所述盖可松开地附着于所述底座，从而可以从所述底座中移去。