粒子束辅助单晶脆性材料超精密加工方法

摘要

本发明属于利用表面改性进行超精密切削加工的新技术，具体讲涉及质子束辅助脆性材料超精密加工方法。本发明一种基于质子束照射靶材表面改性辅助加工的超精密加工技术，能显著提高超精密加工脆性材料的加工精度和表面粗糙度，大幅度降低刀具的磨损。本发明采用的技术方案是：包括下列步骤：a)利用仿真软件按照切深、表面粗糙度或其他加工要求对加工参数进行模拟；b)使用粒子束轰击或照射待加工单晶脆性材料表面，施以模拟结果所得的能量和剂量；c)利用超精密切削技术对粒子束轰击后的单晶材料进行超精密切削加工；d)测试表征加工后的材料表面质量，对比加工表面质量改善情况。本发明主要用于单晶脆性材料的加工。

主权项

一种粒子束辅助单晶脆性材料超精密加工方法，其特征是，包括下列步骤：a)利用仿真软件按照包括切深、表面粗糙度的加工要求对包括粒子束的剂量、施加电压值、轰击或照射时间的加工参数进行模拟；b)使用粒子束轰击或照射待加工单晶脆性材料表面，施以模拟结果所得的能量和剂量；c)利用超精密切削技术对粒子束轰击后的单晶脆性材料进行超精密切削加工，其中，切深小于粒子束轰击或照射的深度；d)测试表征加工后的材料表面质量，对比加工表面质量改善情况。