| 发明名称 | 锗烷纯化 | ||
| 摘要 | 一种用于纯化含有磷化氢的锗烷，以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法，其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物；使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂，以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物；以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。 | ||
| 申请公布号 | CN102282107A | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN200980154667.4 | 申请日期 | 2009.11.16 |
| 申请人 | 伏太斯公司 | 发明人 | 加里·D·米勒 |
| 分类号 | C01G17/00(2006.01)I | 主分类号 | C01G17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 一种制备纯化的锗烷产品的方法，包括：提供含有磷化氢的锗烷气体；使该含有磷化氢的锗烷气体通过吸附剂，其选择性吸附含有的磷化氢，以产生纯化的锗烷气体。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||