降低表面复合减反膜电池的工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池结构及制作工艺技术领域，尤其是一种降低表面复合减反膜电池的工艺，其具有如下工艺步骤：a.硅片进行扩散处理；b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理；c.再对硅片表面进行减反和/或钝化处理；d.再在减反和/或钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒；e.最后进行丝网印刷，烧结制成成品。本发明通过对传统电池工艺流程步骤改变，改变了传统电池的结构，不直接在硅片表面进行制绒而是在ARC(表面减反射膜)层上进行制绒，这样制绒后可达到同样的表面限光效果，同时也不会在硅片表面造成刻蚀损伤，达到了提升电池效率的目标。

主权项

一种降低表面复合减反膜电池的工艺，其特征是：具有如下工艺步骤：a.硅片进行扩散处理；b.然后对硅片进行去PSG和刻边处理；c.再对硅片表面进行减反钝化处理；d.再在减反钝化处理后的硅片表面进行RIE制绒；e.最后进行丝网印刷，烧结制成成品。