真空泵用屏蔽电机

摘要

本发明公开一种真空泵用屏蔽电机，包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气。本发明具有如下优点：电机转子热装配在真空泵轴上，不存在电机与真空泵主动轴的刚性连接问题，可以避免普通电机的起动冲击。电机整体在真空腔体内部，使真空泵结构紧凑，并将真空泵主动轴与泵体与电机定子间的动密封转换为腔体间的静密封，可以避免轴封磨损泄漏问题。电机定子为一体结构，适用于多粉尘等的苛刻工艺环境，如半导体、光伏、制药、冶金等行业。

主权项

一种真空泵用屏蔽电机，其特征在于：包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气。