一种压力传感器的内部封装结构

摘要

一种压力传感器的内部封装结构，包括支撑端、固定端、支撑端压力通孔、固定端压力通孔、传感器芯片，支撑端的上端有内螺纹，固定端的上端有外螺纹。支撑端、固定端装有氟橡胶垫片，传感器芯片固定于支撑端的氟橡胶垫片上。内螺纹与外螺纹通过螺纹相互匹配连接。由于采用了螺纹的连接方式对传感器芯片进行固定，螺纹在旋紧时，对传感器芯片是面接触和整个接触面的平移，保证了传感器芯片受力的均匀性，抵消了应力的影响，在螺纹连接时，在传感器芯片的上下端面分别加了具有柔性好、弹性强的氟橡胶垫片，用于消除传感器芯片外来的应力，使得传感器芯片除了接受被测压力外，始终处于零应力状态，增强了传感器的密封性。

主权项

一种压力传感器的内部封装结构，包括支撑端、固定端、支撑端压力通孔、固定端压力通孔、传感器芯片，其特征在于：所述的支撑端的上端有内螺纹；所述的支撑端内部装有支撑端O型氟橡胶垫片；所述的固定端的上端有外螺纹；所述的固定端头部装有固定端O型氟橡胶垫片；所述的传感器芯片固定于支撑端O型氟橡胶垫片上。