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发明名称 Vacuum pumping system comprising a plurality of sputter ion pumps
摘要
申请公布号 EP2151849(B1) 申请公布日期 2011.12.14
申请号 EP20080425560 申请日期 2008.08.08
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.P.A. 发明人 CAPPUZZO, GIANFRANCO;MACCARRONE, CHRISTIAN;MURA, MICHELE
分类号 H01J37/073;H01J37/18 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
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