发明名称 MASKING TAPE AND METHOD FOR PROCESSING WAFER SURFACE
摘要
申请公布号 KR20110134877(A) 申请公布日期 2011.12.15
申请号 KR20117021048 申请日期 2010.03.08
申请人 SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 发明人 SUMII YUICHI;SUGITA DAIHEI;MURAYAMA HIROSHI
分类号 C09J7/02;C09J133/08;C23C18/31;H01L21/288 主分类号 C09J7/02
代理机构 代理人
主权项
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