涂敷装置、基板的交接方法及涂敷方法

摘要

本发明提供一种具备使基板浮起进行搬运的基板搬运部和在由所述基板搬运部搬运时向所述基板的表面涂敷液状体的涂敷部的涂敷装置、在与保持并搬运所述基板的外部搬运机构之间进行基板的交接的基板的交接方法及涂敷方法。在基板搬运部的搬入侧载物台以及搬出侧载物台分别设置有收容部，当在与外部搬运机构之间交接基板之际，所述收容部收容该外部搬运机构的一部分，在收容外部搬运机构一部分时进行基板的交接。

主权项

一种涂敷装置，具有：使基板浮起进行搬运的基板搬运部；在由所述基板搬运部搬运时，向所述基板的表面涂敷液状体的涂敷部；以及以在俯视下重叠于所述基板搬运部的方式相对于所述涂敷部设置于基板搬运方向的上游侧的管理部，所述涂敷装置的特征在于，所述管理部为使喷出到所述基板的抗蚀剂的喷出量一定而对所述涂敷部进行管理，在所述基板搬运部设置有将所述基板搬入的基板搬入区域和将所述基板搬出的基板搬出区域，在所述基板搬入区域、或所述基板搬入区域和所述基板搬出区域双方设置有收容部，当在与外部搬运机构之间交接所述基板之际，所述收容部收容该外部搬运机构的一部分，在交接所述基板之际，以基板在所述搬入区域浮起的程度供给气体，在所述基板搬入区域内设置有所述收容部的区域的周围设置有第1校准机构，该第1校准机构对应于所述涂敷部的涂敷位置调节所述基板的位置，所述第1校准机构具有长孔和设置于所述长孔内的对位构件，由此从两侧机械夹持所述基板。