硅粒的处理方法和装置

摘要

可以通过低成本的设备高效地分离排出液中的硅粒，再用作单晶硅锭的制备原料。具有：从由硅锭加工装置排出的含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收装置(12)；储存向硅粒中混合酸将杂质溶解而得到的溶解混合液的混合液罐(1)；经由供给通路(8)和返回通路(10)与混合液罐(1)连接、在滤布上形成硅粒的滤饼而进行过滤的滤布式过滤机(2)；向混合液罐(1)中供给纯水的纯水供给设备(49)；可将向滤布的过滤面一侧供给加压空气、将硅粒的滤饼脱水的操作，和向滤布的过滤面相反一侧供给加压空气、使脱水的滤饼脱落并取出的操作切换进行的加压空气供给设备(34)，可高效地分离并回收除去了杂质的单晶硅粒。

主权项

硅粒的处理方法，该方法包括以下步骤：设置从含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收设备、储存溶解混合液的混合液罐、导入该混合液罐中的溶解混合液进行过滤的滤布式过滤机；上述排出液是在用硅锭加工装置加工单晶硅锭形成硅块时所排出的，上述溶解混合液是向由上述回收设备回收的淤浆状硅粒中混合酸、使杂质溶解而成的，首先，将混合液罐中的溶解混合液供给滤布式过滤机，开始过滤，此时的滤液返回至上述混合液罐中循环，如果在上述滤布式过滤机的滤布上形成了所需厚度的滤饼，则滤液不返回上述混合液罐而流经排出通路进行过滤，上述溶解混合液的过滤结束后，向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将在滤布上形成的滤饼脱水，接着向混合液罐供给纯水，通过将该混合液罐的纯水供给上述滤布式过滤机，清洗上述滤布上的滤饼，接着向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将滤布上的滤饼脱水，接着，向滤布式过滤机的滤布过滤面相反一侧供给加压空气，使滤布上的滤饼脱落，由此获得单晶硅粒。