基于SEMI标准的SECS通信方法

摘要

本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。

主权项

一种基于SEMI标准的SECS通信方法，其特征在于：包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤；HSMS模块设备端连接主机端的步骤为：如果已经建立连接则退出该步骤，没有建立连接则判断连接间隔计时器(T5)是否超时，如果没有超时则退出该步骤，如连接间隔计时器(T5)已超时则进行网络层套接字连接，启动接收数据线程，启动连接间隔计时器(T5)，设置连接状态，启动选择计时器(T7)，向主机发送选择请求数据包，如果在选择计时器(T7)超时前未接收到主机发来的应答数据包则断开与主机的连接；HSMS请求数据传输中的发送步骤为：采用HSMS消息格式对请求消息进行编码，如果该请求需要应答则将请求消息加入应答队列中并启动回复计时器(T3)，如果该请求消息不需要应答则关闭回复计时器(T3)；向主机/设备发送编码后的数据包；如果发送数据包失败或回复计时器(T3)超时则断开与主机/设备的连接，关闭回复计时器(T3)并将该请求消息从应答队列中清除；如果发送数据包成功并且回复计时器(T3)未超时则关闭回复计时器(T3)并将该请求消息从应答队列中清除；HSMS请求数据传输中的接收应答步骤为：对接收到的消息数据进行HSMS解码，如果该消息在应答队列中则响应应答事件，如果该消息不在应答队列中则进一步判断该消息是否在请求队列中，如果不在请求队列中则退出该步骤并丢弃该数据包，否则该应答消息在请求队列中则响应请求事件。