| 发明名称 | 一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法 | ||
| 摘要 | 一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法，该装置包括感应电源，冷水机，可通不断冷却循环待沉积溶液，在感应圈内放置的沉积槽，放置在沉积槽内与样件相连的旋转杆，起密封作用且可穿过高速旋转杆的密封盖，以及与旋转杆相连的高速搅拌器。本发明使感应热沉积中的试样处于高速旋转中，将试样的旋转与感应热沉积过程融为一体，不仅保持了感应热沉积工艺非线性的优点，而且在不改变涂层或薄膜组成的情况下，可以大幅提高涂层或薄膜与基体的结合强度，达临界载荷45N以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102277563A | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN201110221261.2 | 申请日期 | 2011.08.03 |
| 申请人 | 深圳大学 | 发明人 | 熊信柏;曾燮榕;邹继兆;谢盛辉;钱海霞;黎晓华 |
| 分类号 | C23C18/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 陆万寿 |
| 主权项 | 一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：包括感应电源(6)以及与感应电源(6)相连的冷水机(7)和感应线圈(5)，在感应线圈内设置有沉积槽(4)，在沉积槽(4)内设置有用于夹持试样的旋转杆(12)，该旋转杆与设置在沉积槽(4)上端的高速搅拌器(11)相连，且在所述沉积槽(4)上还设置有密封盖(13)，沉积槽(4)还通过出液管(10)、冷却管(9)、循环泵(2)、回液管(3)与溶液槽(1)相连形成闭合回路。 | ||
| 地址 | 518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号 | ||