将较大尺寸沟槽顶部直角改变成明显圆角的方法

摘要

本发明公开了一种将较大尺寸沟槽顶部直角改变成明显圆角的方法，包含以下步骤：1)在硅基片或硅外延层上刻蚀形成一系列沟槽；2)用卤化氢气体对沟槽顶部直角进行再刻蚀，使其形成钝角；3)在高温炉管内于沟槽内部及表面生长一层热氧化硅；4)用湿法刻蚀去除热氧化硅，形成沟槽顶部圆角。本发明可以使较大尺寸沟槽顶部直角变成圆弧较长的明显圆角，从而避免沟槽顶部尖角发生击穿(如浅沟槽隔离)，降低尖端处的电场强度以提高器件的击穿电压，还可以防止沟槽填充物使沟槽过早的封口，从而降低沟槽填充的难度。

主权项

一种将较大尺寸沟槽顶部直角改变成明显圆角的方法，其特征在于，包含以下步骤：1)在硅基片或硅外延层上刻蚀形成一系列沟槽；所述沟槽宽度为1.0‑10.0微米，沟槽深度为5.0‑80.0微米，两个沟槽间的顶部间距大于0.5微米；2)用卤化氢气体对沟槽顶部直角进行再刻蚀，使其形成钝角；3)在高温炉管内于沟槽内部及表面生长一层热氧化硅；4)用湿法刻蚀去除热氧化硅，形成沟槽顶部圆角。