基片篮子上载设备

摘要

本实用新型公开一种基片篮子上载设备，包括支撑板、机械手组件及水平滑动工作台组件，水平滑动工作台组件包括旋转平台、机架、支撑平台、对位结构及平台抱紧结构，旋转平台的下端旋转连接于支撑板上，旋转平台的上端与机架的下端固接，支撑平台分别滚动连接于机架的上端的两侧，两支撑平台之间形成篮子放置区域，对位结构分别固定于机架的前端的一侧及其后端的另一侧，平台抱紧结构分别与对应的支撑平台连接，机械手组件用于将基片篮子从水平滑动工作台组件传输至指定工位。置于支撑平台上的基片篮子在对位结构的作用下高精度迅速对位，机械手组件快速地将已对位好的基片篮子传到指定的位置，从而最终实现提高基片篮子的上载效率及传输速度。

主权项

一种基片篮子上载设备，其特征在于：包括支撑板、机械手组件及水平滑动工作台组件，所述水平滑动工作台组件包括旋转平台、机架、两支撑平台、两对位结构以及两平台抱紧结构，所述旋转平台的下端旋转连接于所述支撑板上，所述旋转平台的上端与所述机架的下端固定连接，所述支撑平台分别滚动连接于所述机架的上端的两侧，两所述支撑平台之间形成篮子放置区域，所述对位结构分别固定于所述机架的前端的一侧以及所述机架的后端的另一侧，所述平台抱紧结构分别与对应的支撑平台连接，所述机械手组件用于将基片篮子从所述水平滑动工作台组件传输至指定工位。