一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置

摘要

本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置，该方法主要包括运行管线(1)、放空管线(2)、运行隔膜阀(3)、放空隔膜阀(4)、压力计(5)、蝶阀(6)、气体质量流量控制器(7)、金属有机源(8)、反应室(9)、尾气系统(10)。放空管线(2)上安装有压力计(5)和蝶阀(6)，而且压力计(5)在蝶阀(6)的上游，两者形成负反馈回路，通过压力计(5)实时测量放空管线(2)压力，并由蝶阀(6)将设定压力和实测压力进行比较，蝶阀(6)通过调节开度完成放空管线(2)压力的实时控制。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置，主要包括运行管线(1)、放空管线(2)、运行隔膜阀(3)、放空隔膜阀(4)、压力计(5)、蝶阀(6)、气体质量流量控制器(7)、金属有机源(8)、反应室(9)、尾气系统(10)；其特征在于，放空管线(2)上安装有压力计(5)和蝶阀(6)，而且压力计(5)在蝶阀(6)的上游，两者形成负反馈回路，最终实现放空管线压力调节的目的。