Charged particle beam apparatus and dimension measuring method,申请号EP20050021657-传众专利搜索

发明名称	Charged particle beam apparatus and dimension measuring method
摘要
申请公布号	EP1646067(B1)	申请公布日期	2011.12.14
申请号	EP20050021657	申请日期	2005.10.04
申请人	HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION	发明人	SATO, MITSUGU;SAKAI, KATSUHIKO;TAKANE, ATSUSHI;NAKAYAMA, YOSHIHIKO
分类号	H01J37/28;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/244	主分类号	H01J37/28
代理机构		代理人
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