惯性力传感器及复合惯性力传感器

摘要

一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有：将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。

主权项

一种惯性力传感器，具有检测元件，所述检测元件具有加速度检测部和角速度检测部，并且，所述检测元件具有：经由连接部而具有锤部的固定部、与所述锤部相对的相对基板、形成在所述锤部和所述相对基板各自的相对面上的相对电极，所述加速度检测部通过所述相对电极检测出由伴随所述连接部的变形产生的锤部的活动引起的状态变化，从而检测出加速度，其特征在于，所述检测元件具有将第一臂部与第二臂部正交连接而成的两个正交臂部、支承两个所述第一臂部的支承部，在所述第二臂部的前端具有所述锤部，由所述第一臂部构成所述连接部，所述第一臂部的厚度比所述第二臂部的厚度薄。