一种利用硼磷共扩散制备高效全背电极n型太阳电池的工艺

摘要

本发明公开了一种利用硼磷共扩散制备高效全背电极n型太阳电池的工艺，包括以下步骤：表面制绒；背面发射极区域丝网印刷硼浆，100~500℃条件下烘干5~30min；在硼浆或磷浆上再覆盖一层扩散阻挡层，100~500℃条件下烘干5~30min；背面基区接触区域丝网印刷磷浆，100~500℃条件下烘干5~30min；高温扩散；先在880~1100℃条件下扩散10~60min，随后降温至800~950℃，再通入POCl3源进行磷扩散10~60min；BSG、PSG和阻挡层的去除；双面钝化；背面薄膜开窗口；制备电极。

主权项

一种利用硼磷共扩散制备高效全背电极n型太阳电池的工艺，其特征在于：包括以下步骤：1）表面制绒；2）对于前场为磷掺杂结构，背面发射极区域丝网印刷硼浆，100~500℃条件下烘干5~30min；对于前场为硼掺杂悬浮结结构，背面基区接触区域丝网印刷磷浆，100~500℃条件下烘干5~30min；3）在硼浆或磷浆上再覆盖一层扩散阻挡层，100~500℃条件下烘干5~30min；4）对于前场为磷掺杂结构，背面基区接触区域丝网印刷磷浆，100~500℃条件下烘干5~30min；对于前场为硼掺杂悬浮结结构，背面发射极接触区域丝网印刷硼浆，100~500℃条件下烘干5~30min；5）高温扩散；对于前场为磷掺杂结构，先在880~1100℃条件下扩散10~60min，随后降温至800~950℃，再通入POCl3源进行磷扩散10~60min；对于前场为硼掺杂悬浮结结构，在880~1100℃温度条件通入BBr3源进行硼磷共扩散10~60min；6）BSG、PSG和阻挡层的去除；7）双面钝化；8）背面薄膜开窗口；9）制备电极。