等离子处理装置以及等离子生成装置

摘要

在ICP等离子处理装置中，改善等离子体的均匀性以及着火性。一种等离子处理装置，具备：真空处理室(1)；绝缘材料(12)；气体导入口(3)；设置于真空处理室(1)的外部上方的高频感应天线(天线)(7)；在真空处理室(1)内形成磁场的磁场线圈(81、82)；控制真空处理室(1)内的磁场分布的磁轭(83)；对天线(7)供给高频电流的等离子生成用高频电源(51)；对磁场线圈(81、82)供给电力的电源，其中，将天线(7)分割成n个高频感应天线要素(7-1(未图示)、7-2、7-3(未图示)、7-4)，将经过分割的天线要素呈纵列排列在一个圆周上，在呈纵列所配置的各天线要素上使经由延迟部件(7-2～7-4)依次逐一延迟λ(高频电源的波长)/n的高频电流顺时针按顺序延迟并进行流动，并且自磁场线圈(81、82)施加磁场以使电子回旋共振(ECR)现象发生。

主权项

一种等离子处理装置，具备：构成能容纳试料的真空处理室的真空容器；将处理气体导入到上述真空处理室的气体导入口；设置在上述真空处理室外的高频感应天线；在上述真空处理室内形成磁场的磁场线圈；对上述高频感应天线供给高频电流的等离子生成用高频电源；以及对上述磁场线圈供给电力的电源，其中从上述高频电源对上述高频感应天线供给高频电流，使供给到真空处理室内的气体等离子体化并对试料进行等离子处理，该等离子处理装置的特征在于：将上述高频感应天线分割成n个高频感应天线要素，将该分割后的各个高频感应天线要素呈纵列排列在圆周上，在呈纵列配置的各高频感应天线要素上，使依次逐一延迟了λ/n的高频电流相对于对上述磁场线圈供给电力所形成的磁场的磁力线方向右旋地按顺序延迟流动，形成沿一定方向进行旋转的电场以使等离子体发生并对试料进行等离子处理，其中，n为大于等于2的整数，λ为高频电源的波长。