柔性双边驱动设备的位置控制装置、及相关参数的整定方法

摘要

本发明提供了一种柔性双边驱动设备的位置控制装置，包括：测量传感器、位置控制单元、及执行单元，通过测量传感器的测量实际位置，经过位置控制单元的转换及补偿，最后由执行单元将修正后的位置传回设备。可以有效的提高系统的同步能力，提高抗干扰性；能减小或者消除干扰带来的伺服误差；能够实现多自由度系统的精密定位，能够在一个周期内的加速减速时减少稳定时间从而增加生产能力；能够极大的改善非线性阻尼调节，减小柔性体在运动过程中的热耗散，提高柔性体的抗疲劳能力，进而提高寿命。另本发明提供的一种应用这样的位置控制装置的柔性双边驱动设备，能够实现工件台的减振和精确的位置补偿。

主权项

一种柔性双边驱动设备的位置控制装置，所述柔性双边驱动设备具有工件台、纵向第一电机、纵向第二电机、及横向电机，所述纵向第一电机和纵向第二电机能够控制工件台在纵向上的运动，而横向电机能够控制工件台在横向上的运动，其中，所述横向和纵向在平面上正交，其特征在于，所述位置控制装置包括：测量传感器、位置控制单元、及执行单元，其中，所述测量传感器与所述柔性双边驱动设备各电机的驱动轴连接，并测量得到各物理轴位置信号；所述位置控制单元将测量的各物理轴位置信号进行处理，形成基于工件台质心的误差信号，再将各基于工件台质心的误差信号转化为物理轴执行信号；所述执行单元连接于所述位置控制单元，接收各物理轴控制信号并以此控制各驱动轴运动。